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반도체 산업용 적외선 난방

반도체 산업용 적외선 난방

2024-06-21

기술의 지속적인 발전과 함께 적외선 난방 기술은 점차 사람들의 관심의 중심이되었습니다. 그것은 산업, 반도체, 의료,고효율의 장점으로 인해, 환경 보호 및 안전

 

적외선 난방의 원리와 특성:

적외선 난방 기술은 적외선 빛을 흡수하고 열으로 변환하여 대상 물체의 난방을 달성하는 반도체 물질의 특성을 활용합니다.핵심 원리는 반도체 물질이 적외선을 흡수할 때, 전자는 발렌스 대역에서 전도 대역으로 전환하여 전기 전류를 형성하고 열을 생성합니다. 이 열은 목표 물체의 온도를 증가시킵니다.따라서 난방 효과를 얻을 수 있습니다..

 

적외선 난방 기술은 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.

● 효율성: 적외선 빛 의 높은 에너지 때문 에 반도체 물질 들 은 반도체를 효율적 으로 열 으로 변환 하여 급속 히 가열 할 수 있다.

 

● 환경 친화적: 적외선 난방 기술 은 사용 도중 해로운 물질 을 생성 하지 않으며 소음 오염 이 없으므로 환경 친화적 인 난방 방법 이다.

 

● 안전성: 적외선 난방 은 순수 로 저항적 인 난방 때문 에, 전류 가 반도체 물질 자체 를 통과 하지 않으므로 안전성 이 높습니다.

 

● 광범위 한 적용 가능성: 적외선 난방 장비 는 작은 부피 로 설치 가 쉬우며, 다양한 모양 과 크기 의 물체 에 적합 하다.

 

적외선 난방 기술의 적용

1웨이퍼 가열 장치

실리콘 웨이퍼는 회로 제조 및 태양 전지판과 같은 분야에서 널리 사용되는 중요한 반도체 재료입니다. 난방은 실리콘 웨이퍼의 준비 과정의 중요한 단계입니다.유기물질과 거품을 제거할 수 있습니다., 물질을 활성화하고, 모양을 조정하고, 물질 구조를 향상시키고, 실리콘 웨이퍼의 표면 순수성과 품질을 보장합니다.그리고 다양한 응용 분야에서 더 나은 역할을 할 수 있도록적외선 (IR) 방사선을 이용해서 밀도가 높은 열을 발생시키면 적외선 피로미터로 웨이퍼의 온도를 정확하게 측정할 수 있다.

 

다음 다이어그램은 RTP 시스템의 일종이다. RTP 시스템에서는 상단과 하단 쪽의 조명이 수직으로 배치되어 적외선으로 웨이퍼를 균등하게 가열한다.웨이퍼 온도는 피로미터에 의해 모니터링되고 텅프렌 할로겐 램프의 전력 피드백을 통해 제어됩니다.가열 된 표면은 평균 적색 선 방사선 에너지를 수신하여 불규칙한 온도로 인한 부정적인 공정 품질 문제를 효과적으로 감소시킵니다.

 

2진공 재공류 용접 오븐

진공 리플로우 오븐은 진공 환경에서 고품질의 제품을 용접하는 과정으로, 진공 조건에서 산화로부터 제품과 용접을 보호하기 위해 사용됩니다.동시에, 그것은 제품 표면의 산화질소와 용접과 반응하여 용접 표면의 품질을 향상시키고 용접의 엽기성을 감소시킵니다.일반적으로 항공우주와 같은 고 정밀 제품에서 사용됩니다., 의료 및 자동차. 진공 방은 적외선 방사선 난방 원리를 채택 하는 내장 난방 시스템으로 장착됩니다. 그것은 균일 온도,극저온 안전 용접, 온도 차이, 과열, 신뢰할 수 있고 안정적인 프로세스 매개 변수, 복잡한 프로세스 테스트의 필요성이 없으며 환경 비용도 낮습니다. 여러 품종의 요구를 충족합니다.소량, 그리고 군사 제품의 높은 신뢰성 용접.

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3진공 전자기 오븐

진공 전자기 오븐 (vakuum electroplating furnace) 은 금속 또는 다른 재료의 표면을 전자기하는 데 사용되는 장치입니다. 진공 환경에서 전자기,따라서 가전화 층의 품질과 내구성을 향상시킵니다.. 온도 조절은 진공 가전 오븐의 작동에 중요한 단계입니다. 전반적으로 진공 가전 오븐의 온도 조절은 매우 중요합니다.적외선 난방의 특성을 활용하여, 정확한 온도 조절과 온도 균일성을 보장하면 가전화 층의 품질과 내구성을 효과적으로 향상시킬 수 있습니다.각기 다른 가전화 공정의 요구 사항을 충족시키는동시에, 그것은 또한 가전 처리 과정의 안전과 안정성을 보장 할 수 있습니다.